用(yòng)于(yú)快(kuài)速热(rè)處(chù)理(lǐ)、热(rè)氧化(huà)處(chù)理(lǐ)、高(gāo)温退(tuì)火(huǒ)的(de)設備
快(kuài)速退(tuì)火(huǒ)炉是(shì)利用(yòng)鹵素紅(hóng)外(wài)灯作(zuò)为热(rè)源，通(tòng)过(guò)极快(kuài)地(dì)升(shēng)温速率，将晶圆(yuán)或(huò)者(zhě)材料快(kuài)速地(dì)加热(rè)到(dào)300℃-1200℃，從而(ér)消除晶圆(yuán)或(huò)者(zhě)材料內(nèi)部(bù)地(dì)一些(xiē)缺陷，改善産品性(xìng)能(néng)。
快(kuài)速退(tuì)火(huǒ)炉采用(yòng)先(xiān)進(jìn)的(de)微電(diàn)脑控制系(xì)统，采用(yòng)PID閉环(huán)控制温度(dù)，可以(yǐ)达(dá)到(dào)极高(gāo)的(de)控温精度(dù)和(hé)温度(dù)均勻性(xìng)，并且(qiě)可配置真(zhēn)空腔體(tǐ)，也(yě)可根(gēn)據(jù)用(yòng)戶工藝需求配置多(duō)路(lù)气(qì)體(tǐ)。